Вакуумная установка нанесения тонких плёнок с электронно-лучевой системой Электроника ТМ–1205

Техническая Характеристика Режим работы автоматический Диаметр обрабатываемых пластин 76, 100 мм Производительность при обработке пластин: - диаметром 76 мм - 15 пластин/цикл - диаметром 100 мм - 9 пластин/цикл Время цикла (при толщине пленки алюминия 1 мкм) не более 20 мин Неравномерность пленки по толщине ±(3/5) % Предельное остаточное давление в рабочей камере 1,3•10 -5 Па Максимальная мощность электронно-лучевого испарителя 10 кВт Диапазон температуры нагрева пластин 100-400°С Относительная погрешность при измерении толщины пленок 5% Электропитание установки: • Трёхфазная сеть переменного тока с нулевым проводом: - напряжением 380/220 В; - частотой 50 Гц. • Мощность потребления не более 25 кВА Габаритные размер не более 1780х 1082 х 1650 мм Масса не более 1 900 кг